型號

SIR13

120V基板

250V基板

500V基板

1000V基板

基板測試部

測試電阻范圍

320Ω～120TΩ

320Ω～2.5TΩ

320Ω～250TΩ

320Ω～500TΩ

320Ω～1000TΩ

測試通道數

8ch/基板

16ch/基板

8ch/基板

連接電纜

2根一對/基板

4線式

2根一對/基板

加載測試電纜×2

2根一對/基板

加載電纜×1、測試電纜×1

電氣特性

電

壓

加

載

部

加載電壓

電壓量程1

0.10V～120.00V

0.1V～250.0V

1.0V～500.0V

1.0V～1000.0V

電壓量程2

0.100V～12.000V

--

--

--

加載設定分辨率

0.10V/0.001V

0.1V

基本加載精度

±0.3%/FS

±0.3%/FS + 0.5V/FS

zui大輸出功率

96mW/ch

256mW/8ch

300mW/ch

加載組數

1組（1ch/1組）

2組（8ch/1組）

1組（8ch/1組）

加載量程

2量程

1量程

加載通道數

1ch

8ch

zui大負載容量

2.0μF/1ch

0.47μF/8ch

3300pF/1ch

電

壓

顯

示

器

顯示器量程

2量程

1量程

顯示器

范圍

電壓量程1

0.00V～120.00V

0.0V～250.0V

0.0～500.0V

0.0V～1000.0V

電壓量程2

0.000V～12.000V

--

--

--

顯示器分辯率

0.10V/0.001V

0.1V

基本顯示器精度

±0.3%/FS

±0.3%/FS + 0.5V/FS

顯示器分割單位

1ch

1組或1ch

1ch

顯示器周期

40ms

顯示器通道數

8ch

16ch

8ch

電

流

測

試

測試量程

3量程

2量程

3量程

顯示器

范圍

電流量程1

0.00μA～320.00μA

電流量程2

0.0000μA～3.2000μA

電流量程3

0.00nA～32.000nA

--

0.000nA～32.000nA

量程設定

320.00μA·3.2000μA

·32.000nA·自動

320.00μA·3.2000μA·自動

320.00μA·3.2000μA·32.000nA·自動

測試zui小分辨率

電流量程1

10nA

10nA

10nA

電流量程2

100pA

100pA

100pA

電流量程3

1pA

1pA

1pA

基本測試精度

±0.3%/FS

通道數

8ch

16ch

8ch

數據收錄周期

定期30s（zui小）/離子遷移時40ms（zui小）

離子遷移測試速度

40ms

漏泄檢出

400μs/ch

測試周期

40ms

其他功能

自己診斷

外接標準電阻診斷 ※選配

連鎖

箱體門打開時，測試自動中斷功能 ※選配

斷線檢出

端子斷線檢出功能

--

試驗槽內溫濕度收錄

追加溫濕度測試基板、借助3CS·keyless軟件zui大可以收錄4個槽的數據 ※選配

樣品溫度收錄

通過3CS SMU 每個通道能夠收錄1個點 ※選配

系統zui大構成

SIR13

80ch（10基板）

160ch（10基板）

80ch（10基板）

SIR13mini

24ch（3基板）

48ch（3基板）

24ch（3基板）

控制部

系統控制電腦

Windows XP Pro.SP2適于Windows2000） Pentium 500MHz以上 內存256Mbyte以上

測試部的連接

GP-IB 或Ethernet

其他

停電對策

停電發生前保存收錄數據，并且通電后能夠繼續收錄 ※不停電電源必須

控制單元

結構類型

SIR13

SMU 10插槽式

外形尺寸:W430×H300×D620  ※不包含突起部分

重量：約30kg（SMU 10枚配備時）

消耗電流：5A以下（100V使用時）

SIR13mini

SMU 3插槽式

外形尺寸:W220×H370×D390  ※不包含突起部分

重量：約20kg（SMU 3枚配備時）

消耗電流：2A以下（100V使用時）

耐噪聲能力

1μs脈沖 2KV  1分鐘

絕緣電阻

DC500V 100MΩ以上

使用電源

AC85V～264V 50/60Hz

使用環境

溫度+10℃～+40℃  濕度75%RH以下（無結露）

保存環境

溫度-10℃～+ 60℃